型號
HIPace@80，具月1C110，DN 63 SO-K
2707-0perating voltage:V DC
24 (±5 %)V DC
Ar的壓縮比
>1.1011
Ar的抽速
66 l/s
Ar的zu終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量
0.54 hPa l's |0.41 Torr l/s |0.54 mbar l/s
H2的壓縮比
1.4·10°
H2的抽速
48 l/s
H2的zu終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量
15.3 hPa Us |11.47 Torr l's |15.3 mbar l/s
He 的壓縮比
1.3.107
He 的抽速
58 Vs
He 的zui終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量
2.7 hPa l's |2.02 Torr Us |2.7 mbar Vs
VO 接口
RS-485.遠(yuǎn)程
N2 的壓縮比
N2 的抽速
67 Vs
N2 的zui大預(yù)真空
22 百帕
N2的zui終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量
1.3 hPa Vs |0.97 Torr ls 1.3 mbar Vs
不帶氣鎮(zhèn)的zui終壓力
